|
ЦНИИИА ПродукцияАИС контроля параметров СВЧ устройств, магнитов и магнитных систем, цифровых и аналоговых микросхемАвтоматизированные измерительные системы контроля параметров СВЧ устройств на основе магистрально-модульного принципа построения
Зондовые станции
Зондовая станция Т-100 предназначена для контроля УВЧ параметров транзисторов, интегральных и монолитных схем на пластине, кристалле или в корпусе.
Вместе с входящими в комплект зондовыми и контактными устройствами зондовая станция является идеальным устройством для подключения стандартной контрольно-измерительной аппаратуры дециметрового, сантиметрового и миллиметрового диапазона длин волн для контроля твердотельных приборов.
Примененяется в составе:
- измерителей шумовых параметров СВЧ транзисторов, гибридных и монолитных усилителей;
- измерителей скалярных и комплексных параметров твердотельных СВЧ приборов;
- систем технологического контроля параметров СВЧ структур.
Технические характеристики
| Наименование параметров |
Автоматическая Т-100-М |
Ручная T-100 |
| Пределы перемещения измеряемых пластин, мм |
| по X |
150 |
40 |
| по Y |
150 |
20 |
| по Z |
3 |
5 |
| Угол поворота, ° |
180 |
180 |
| Погрешность позиционирования |
3 мкм / 150 мм |
– |
| Минимальный шаг перемещения, мкм |
1,0 |
– |
| Максимальная скорость перемещения, мм/с |
30 |
– |
|
